数字源表在半导体IV特性测试中的应用
数字源表（Source Measure Unit, SMU）是半导体器件特性测试的核心仪器，集电压/电流源与测量功能于一体。
SMU 的核心能力
SMU 可同时实现：
- 施加 精确的电压或电流（源）
- 测量 器件的电流或电压响应（测）
- 脉冲 模式避免自热效应
典型测试场景
二极管 IV 特性
通过扫描电压并测量电流，可获得二极管的正向导通特性：
扫描范围：-1V ~ +1V
步进：10mV
compliance：100mA
三极管输出特性
测量不同基极电流下的 Vce-Ic 曲线族：
- 固定 Ib（如 10μA、20μA、30μA）
- 扫描 Vce（0 ~ 10V）
- 记录 Ic 响应
Keithley 2400 系列是业界最经典的 SMU，其 5 位半分辨率与 pA 级电流测量能力可满足大多数半导体测试需求。
选型建议
| 型号 | 通道数 | 电流分辨率 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| Keithley 2400 | 1 | 10 pA | 通用 IV 测试 |
| Keithley 2450 | 1 | 1 pA | 高精度纳米器件 |
| Keithley 2611B | 2 | 1 pA | 多通道测试 |
| Keithley 2612B | 2 | 1 pA | 双通道同步 |
昱隆兴达的 SMU 资源
公司提供 Keithley 全系列 数字源表的租赁与销售服务，并配套测试夹具与软件：
- 入门级：2400、2410
- 高精度：2450、2460
- 多通道：2611B、2612B